激光干涉儀，以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量。激光具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測(cè)量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作，并可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。
激光干涉儀有單頻和雙頻兩種：
單頻激光干涉儀
        從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào)，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù)，再由電子計(jì)算機(jī)算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí)，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測(cè)量結(jié)果。
雙頻激光干涉儀
        在氦氖激光器上，加上一個(gè)約0.03特斯拉的軸向磁場(chǎng)。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng), 激光器產(chǎn)生1和2兩個(gè)不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個(gè)互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經(jīng)偏振分光鏡后又分為兩路：一路成為僅含有f1的光束,另一路成為僅含有f2的光束。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),含有f2的光束經(jīng)可動(dòng)反射鏡反射后成為含有f2 ±Δf的光束，Δf是可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)因多普勒效應(yīng)產(chǎn)生的附加頻率,正負(fù)號(hào)表示移動(dòng)方向(多普勒效應(yīng)是奧地利人C.J.多普勒提出的，即波的頻率在波源或接受器運(yùn)動(dòng)時(shí)會(huì)產(chǎn)生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來(lái)僅含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會(huì)合成為f1-(f2±Δf）的測(cè)量光束。測(cè)量光束和上述參考光束經(jīng)各自的光電轉(zhuǎn)換元件、放大器、整形器后進(jìn)入減法器相減,輸出成為僅含有±Δf的電脈沖信號(hào)。經(jīng)可逆計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)后，由電子計(jì)算機(jī)進(jìn)行當(dāng)量換算（乘 1/2激光波長(zhǎng)）后即可得出可動(dòng)反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來(lái)測(cè)量位移的，這種位移信息載于f1和f2的頻差上，對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感，所以抗干擾能力強(qiáng)。它常用于檢定測(cè)長(zhǎng)機(jī)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度，也可用作測(cè)長(zhǎng)機(jī)、高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等的測(cè)量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件，還可進(jìn)行高精度直線度測(cè)量、平面度測(cè)量和小角度測(cè)量。

1.激光干涉儀的發(fā)展史

做衣量身、體檢量高都由尺子完成，這些日常的尺子的刻度是毫米。機(jī)械零件加工和檢驗(yàn)都要用尺子，在機(jī)械制造企業(yè)，卡尺、千分尺隨處可見(jiàn)，其精確度是10 μm，1 μm。

1887年邁克爾遜（Michelson）和莫雷（Morley）研究以太[1]:是否存在，使用了光。他們以光波長(zhǎng)作尺子刻度測(cè)量了水平面和垂直面的光速之差，第一次否定了以太的存在。他們利用的是光的干涉現(xiàn)象，這就是光學(xué)干涉儀的誕生。

注[1]:根據(jù)古代和中世紀(jì)科學(xué)，以太被稱為第五元素，是填充地球球體上方宇宙區(qū)域的物質(zhì)。以太的概念在一些理論中被用來(lái)解釋一些自然現(xiàn)象，例如光和重力的傳播。19世紀(jì)末，物理學(xué)家假設(shè)以太滲透到整個(gè)空間，以太是光在真空中傳播的介質(zhì)，但是在邁克爾遜-莫利實(shí)驗(yàn)中沒(méi)有發(fā)現(xiàn)這種介質(zhì)存在的證據(jù)，這個(gè)結(jié)果被解釋為沒(méi)有光以太存在。

1961年研究人員發(fā)明了氦氖激光器，開(kāi)始用氦氖激光器作為邁克爾遜干涉儀的光源，從而誕生了激光干涉儀。圖1是邁克爾遜干涉儀簡(jiǎn)圖。邁克爾遜干涉儀是普通物理的基本實(shí)驗(yàn)之一。但今天在科學(xué)研究和工業(yè)中應(yīng)用的激光干涉儀出于邁克爾遜，但性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)勝于邁克爾遜。

圖1 邁克爾遜干涉儀簡(jiǎn)圖

基本上，激光干涉儀都使用氦氖激光器的632.8 nm波長(zhǎng)的光，橙紅燦爛的光束射向遠(yuǎn)方，發(fā)散角可以小到0.1 mrad，光束截面的光斑均勻。氦氖激光器還可輸出綠光、黃光、紅外光，但只有632.8 nm波長(zhǎng)的光適合作激光干涉儀的光源。其它類型的激光器，如半導(dǎo)體（LD）、固體激光器等的相干等性能都遠(yuǎn)不及氦氖激光器，研究人員多有嘗試，但都沒(méi)有成功。

激光干涉儀有很多應(yīng)用，但本質(zhì)都是測(cè)量中學(xué)課本講的“位移”，諸多應(yīng)用都是“位移”的延伸和轉(zhuǎn)化。激光干涉儀有兩個(gè)主流類型：?jiǎn)晤l激光干涉儀和雙頻激光干涉儀。單頻干涉儀能做的雙頻激光干涉儀都能做，但雙頻干涉儀能做的單頻干涉儀不見(jiàn)得能做。由于歷史、技術(shù)和商業(yè)原因，兩種干涉儀都有著廣泛應(yīng)用。但在光刻機(jī)上，雙頻激光干涉儀占主要市場(chǎng)。

單頻干涉儀不需要對(duì)市場(chǎng)上的氦氖激光器進(jìn)行改造，直接可用。但雙頻激光干涉儀用的激光器需要附加技術(shù)使其產(chǎn)生雙頻（兩個(gè)頻率）。

歷史上，雙頻激光干涉儀測(cè)量位移的速度不及單頻激光干涉儀，自發(fā)明了雙折射-塞曼雙頻激光器，雙頻激光干涉儀的測(cè)量速度也達(dá)到每秒幾米，與單頻激光器看齊了。

按產(chǎn)生雙頻的方法，雙頻激光干涉儀分為塞曼雙頻激光（國(guó)外）干涉儀和雙折射-塞曼雙頻激光（國(guó)內(nèi)）干涉儀。

現(xiàn)在干涉儀的指標(biāo)：最小可感知1 nm（十億分之1 m），可以測(cè)量百米長(zhǎng)的零件，且測(cè)量70 m長(zhǎng)的導(dǎo)軌誤差僅為幾微米。

2.測(cè)量位移的干涉儀和測(cè)量表面的干涉儀？

有幾個(gè)概念的定義比較混亂（特別是有些研究發(fā)展趨勢(shì)的報(bào)告），需要注意。

一是“激光測(cè)距”和“激光測(cè)位移”沒(méi)有界定，資料往往鹿馬不分。

二是不少資料所說(shuō)“激光干涉儀”實(shí)際上包含兩種不同的儀器，一種是測(cè)量面型（元件表面）的激光干涉儀，一種是測(cè)量位移（長(zhǎng)度）的激光干涉儀。如海關(guān)的統(tǒng)計(jì)和一些年度報(bào)告往往混在一起。

激光測(cè)距機(jī)發(fā)出的激光束是一個(gè)持續(xù)時(shí)間納秒的光脈沖，利用光脈沖達(dá)到目標(biāo)和返回的時(shí)間之半乘以光速得到距離，完全和光的干涉無(wú)關(guān)。

盡管激光波面干涉儀和測(cè)量位移（長(zhǎng)度）的干涉儀都是利用光干涉現(xiàn)象，但儀器的設(shè)計(jì)、光路結(jié)構(gòu)、探測(cè)方式、應(yīng)用場(chǎng)合幾乎沒(méi)有共同之處。激光波面干涉儀能夠測(cè)量光學(xué)元件表面的形貌，光束直徑要覆蓋被測(cè)零件，在整個(gè)零件表面形成系列干涉條紋，根據(jù)測(cè)量條紋的亮度（也即相位）算出表面的形貌，其光束口徑、零件直徑可達(dá)百毫米；另一種則是測(cè)量位移（長(zhǎng)度）干涉儀，光干涉發(fā)生在直徑幾毫米光路上，表現(xiàn)為只有光電探測(cè)器（眼睛）正對(duì)著射來(lái)的光線才能“看”到光強(qiáng)度的波動(dòng)，由波動(dòng)的整次數(shù)和（不足半波長(zhǎng)的）小數(shù)算出被測(cè)件的位移。

3.雙頻激光干涉儀的原理和構(gòu)成

當(dāng)圖1的可動(dòng)反射鏡有位移時(shí)，光電探測(cè)器光敏面會(huì)感受到的光強(qiáng)度正弦變化，動(dòng)鏡移動(dòng)半個(gè)波長(zhǎng)，光強(qiáng)變化一個(gè)周期。光電探測(cè)器將光強(qiáng)變化轉(zhuǎn)化為電信號(hào)。如探測(cè)到電信號(hào)變化了一個(gè)周期，我們就知道動(dòng)鏡移動(dòng)了半個(gè)波長(zhǎng)。計(jì)出總周期數(shù)測(cè)得動(dòng)鏡的位移。

                             （1）

式中：λ為激光波長(zhǎng)，N 為電脈沖總數(shù)。

今天的激光干涉儀使用632.8 nm波長(zhǎng)的激光束，半波長(zhǎng)即316.4 nm。動(dòng)鏡安裝在被測(cè)目標(biāo)上與目標(biāo)一起位移，如光刻機(jī)的機(jī)臺(tái)，機(jī)床的動(dòng)板上。為了提高分辨力，半波長(zhǎng)的正弦信號(hào)被細(xì)分，變成1 nm甚至0.1 nm的電脈沖，可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù)，再由計(jì)算機(jī)計(jì)算出位移量S。也常用下式表示動(dòng)鏡的位移，

 （2）

其中△f為目標(biāo)運(yùn)動(dòng)速度為V時(shí)的多普勒頻移。式（1）和（2）是等價(jià)的，可以互相推導(dǎo)推出來(lái)，僅是表方式的不同。

圖2是今天的雙頻激光干涉儀框圖。它由7個(gè)部分構(gòu)成。

圖2 雙頻激光干涉儀原理框圖。

（1）   雙頻氦氖激光器

氦氖激光器上有磁體。磁體為筒形，激光器上加的是縱向磁場(chǎng)，稱為縱向塞曼雙頻激光器。四分之一波長(zhǎng)（λ/4）片把激光器輸出的左旋和右旋光變成偏振態(tài)互相垂直的線偏振光。前文所說(shuō)的雙折射-塞曼雙頻激光器則是在激光器內(nèi)置入雙折射元件（圖內(nèi)未畫(huà)出），并加圖2所示的磁條。雙折射元件使激光器形成雙頻，橫向磁場(chǎng)消除兩個(gè)頻率之間的耦合。雙折射-塞曼雙頻激光干涉儀不需使用四分之一波長(zhǎng)片。

雙頻激光器是雙頻激光干涉儀的核心，很大程度上，它的性能決定激光干涉儀的性能，要求波長(zhǎng)（頻率）精度高，功率大，壽命長(zhǎng)，雙頻間隔（頻差）大且穩(wěn)定，偏振狀態(tài)穩(wěn)定，兩頻率之間不偏振耦合。這一問(wèn)題的解決是作者較突出的貢獻(xiàn)之一。

（2）   頻率穩(wěn)定單元

它的作用是保證波長(zhǎng)（頻率）這把尺子的精確性，達(dá)到10^-8甚至10^-9，即4.74×10¹⁴的激光頻率長(zhǎng)期的變化僅1 MHz左右。

（3）   擴(kuò)束準(zhǔn)直器

實(shí)際上是一個(gè)倒裝的望遠(yuǎn)鏡，防止光束發(fā)散。要求激光出射80 m，光束光斑直徑仍然在10 mm之內(nèi)。

（4）   測(cè)量干涉光路

測(cè)量干涉光路包括：從分光鏡向右直到可動(dòng)反射鏡（實(shí)際是個(gè)角錐棱鏡），向下到光電探測(cè)器2。可動(dòng)反射鏡裝在被測(cè)目標(biāo)上（如光刻機(jī)工作臺(tái)上的反射鏡），目標(biāo)的移動(dòng)產(chǎn)生激光束的頻移Δf，Δf和目標(biāo)速度成正比，積分就是目標(biāo)走過(guò)的距離（位移或長(zhǎng)度）。積分由信號(hào)處理單元完成。

（5）   參考光路

參考光路由分光鏡-偏振片-光電探測(cè)器1實(shí)現(xiàn)，參考光路中沒(méi)有任何元件移動(dòng)，它測(cè)得的位移是“假位移”真噪聲。噪聲來(lái)自環(huán)境的擾動(dòng)。信號(hào)處理單元從干涉光路的位移中扣除這一噪聲。

（6）   溫度和空氣折射率補(bǔ)償單元

干涉儀測(cè)量的目標(biāo)位移可能長(zhǎng)達(dá)百米，空氣折射率（及改變）和長(zhǎng)度的乘積成為激光干涉儀的最主要誤差來(lái)源之一。用傳感器測(cè)出溫度、氣壓、濕度，信號(hào)處理單元計(jì)算出空氣折射率引入的假位移，并從結(jié)果中扣除。

（7）信號(hào)處理單元。光電探測(cè)器1和2，分別把信號(hào)f1-(f2±Δf)和f1-f2的光束轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，是可動(dòng)反射鏡位移時(shí)因多普勒效應(yīng)產(chǎn)生的附加頻率，正負(fù)號(hào)表示位移的方向。電信號(hào)經(jīng)放大器、整形器后進(jìn)入減法器相減，輸出成為僅含有±Δf的電脈沖信號(hào)。經(jīng)可逆計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)后，由電子計(jì)算機(jī)進(jìn)行當(dāng)量換算即可得出可動(dòng)反射鏡的位移量。環(huán)境溫度，氣壓，濕度引入的折射率變化（假位移）送入計(jì)算機(jī)計(jì)算，扣除他們的影響。最后顯示。相當(dāng)多的應(yīng)用要求計(jì)算機(jī)和應(yīng)用系統(tǒng)通訊，實(shí)現(xiàn)對(duì)加工過(guò)程的閉環(huán)控制。

4.激光干涉儀的應(yīng)用

一般說(shuō)來(lái)，激光干涉儀的主要用途是測(cè)量目標(biāo)的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，即目標(biāo)的線性位移大小、旋轉(zhuǎn)角度（滾轉(zhuǎn)、俯仰和偏擺）、直線度、垂直度、兩個(gè)目標(biāo)在運(yùn)動(dòng)的平行性（度）、平面度等。無(wú)論光刻機(jī)的機(jī)臺(tái)，還是數(shù)控機(jī)床的導(dǎo)軌（包括激光加工機(jī)床），不論是飛行物，還是靜止物的熱膨脹、變形，一旦需要高精度，都要用激光干涉儀測(cè)量，得到目標(biāo)的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)。

運(yùn)動(dòng)狀態(tài)用由多個(gè)參數(shù)給出。以光刻機(jī)兩維運(yùn)動(dòng)中的一個(gè)方向運(yùn)動(dòng)時(shí)為例，位移（走過(guò)的長(zhǎng)度）、機(jī)臺(tái)位移過(guò)程中的偏轉(zhuǎn)（角）、俯仰（角）和滾轉(zhuǎn)（角）都需要測(cè)出。

很多類型的設(shè)備需要測(cè)量，如各類機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、線性位移平臺(tái)、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測(cè)儀器等領(lǐng)域的線性測(cè)量。圖3是幾個(gè)應(yīng)用的例子。

美國(guó)LIGO激光干涉儀實(shí)驗(yàn)室宣稱首次直接測(cè)量到了引力波(2016)，使用的儀器是激光干涉儀，單程臂長(zhǎng)4 km。見(jiàn)圖4。     

(a)雙頻激光干涉儀測(cè)量球面鏡R值        (b)雙頻激光干涉儀雙路測(cè)量動(dòng)龍門激光打孔機(jī)         (c)雙頻激光干涉儀測(cè)量導(dǎo)軌直線度

圖3 激光干涉儀幾個(gè)應(yīng)用的例子

 圖4  LIGO激光干涉儀

來(lái)源：https://www.ligo.caltech.edu/image/ligo20150731c

5. 雙頻激光干涉儀發(fā)展存在的問(wèn)題

（1）國(guó)內(nèi)外單頻和雙頻激光干涉儀的進(jìn)展及問(wèn)題

多年來(lái)，國(guó)內(nèi)外在單頻和雙頻激光干涉儀方面進(jìn)步不大，特例是雙折射-塞曼雙頻激光器的發(fā)明。由于從國(guó)外購(gòu)買的激光器不能產(chǎn)生大間隔的雙頻光，原有國(guó)內(nèi)雙頻激光干涉儀的供應(yīng)商基本停產(chǎn)。以前作為基礎(chǔ)研究的雙折射-塞曼雙頻激光器被推到前臺(tái)。雙頻激光器是干涉儀的核心技術(shù)，走在了世界前端，也解決了國(guó)內(nèi)無(wú)源的重大難題。北京鐳測(cè)科技有限公司的開(kāi)發(fā)、糾錯(cuò)，終于使雙折射-塞曼雙頻激光干涉儀實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品化，進(jìn)入先進(jìn)制造全行業(yè)，特別是光刻機(jī)。北京鐳測(cè)科技有限公司雙折射-塞曼雙頻激光器達(dá)到指標(biāo)：頻率間隔可在1 ~ 30 MHz之間選擇，功率可達(dá)1 mW。 頻率差與激光功率之間沒(méi)有相互影響，沒(méi)有塞曼效應(yīng)的雙頻激光器高功率和大頻率差不能兼得的缺點(diǎn)。

盡管取得進(jìn)展，但氦氖激光器的制造工藝等是個(gè)系統(tǒng)性技術(shù)問(wèn)題，需要全面改善。特別是，國(guó)外雙頻激光干涉儀的幾家企業(yè)的激光器都是自產(chǎn)自用，不對(duì)外銷售，因此，我們必須自己解決問(wèn)題。

 （2）業(yè)界往往忽略干涉儀的非線性誤差

很長(zhǎng)時(shí)期以來(lái)，業(yè)界認(rèn)為單頻干涉儀沒(méi)有非線性誤差。德國(guó)聯(lián)邦物理技術(shù)研究院(PTB) 經(jīng)嚴(yán)格測(cè)試發(fā)現(xiàn)，單頻干涉儀也存在幾納米的非線性誤差，甚至大于10 nm。塞曼效應(yīng)的雙頻干涉儀也有非線性誤差，也是無(wú)法消除。對(duì)此干涉儀測(cè)量誤差，大多使用者是不知情的。到目前，中國(guó)計(jì)量科學(xué)院的測(cè)試得出，北京鐳測(cè)科技生產(chǎn)的雙頻激光干涉儀的非線性誤差在1 nm以下。建議把中國(guó)計(jì)量科學(xué)院的儀器批準(zhǔn)為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，并和德國(guó)、美國(guó)計(jì)量院作比對(duì)。

非線性誤差發(fā)生在半個(gè)波長(zhǎng)的位移內(nèi)，即使量程很小也照樣存在。

圖5 中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院：鐳測(cè)LH3000雙頻激光干涉儀在進(jìn)行測(cè)長(zhǎng)比對(duì)

6. 雙頻激光干涉儀的未來(lái)挑戰(zhàn)

本文作者從事研究雙折射-塞曼雙頻激光器起步到成批生產(chǎn)雙折射-塞曼雙頻激光干涉儀，歷經(jīng)近40年，建議加強(qiáng)以下研究。

（1）高測(cè)速

制造業(yè)的發(fā)展很快，精密數(shù)控機(jī)床運(yùn)動(dòng)速度已達(dá)幾m/s，有特殊應(yīng)用提出達(dá)到10 m/s的要求。目前單頻激光的測(cè)量速度還沒(méi)有超過(guò)5 m/s。雙折射-塞曼雙頻激光干涉儀的測(cè)速也處于這一水平，但其頻率差的實(shí)驗(yàn)已經(jīng)達(dá)到幾十MHz，有待信號(hào)處理技術(shù)的跟進(jìn)發(fā)展，實(shí)現(xiàn)10 m/s以上的測(cè)量速度。

（2）皮米干涉儀

市場(chǎng)上的干涉儀基本都標(biāo)稱分辨力1 nm，也有0.1 nm的廣告。需要發(fā)展皮米分辨力的激光干涉儀以滿足對(duì)原子、病毒尺度上的觀測(cè)要求。

（3）溯源

前文已經(jīng)提到，小于半波長(zhǎng)的位移是把正弦波動(dòng)信號(hào)電子細(xì)分得到標(biāo)稱的1 nm，和真實(shí)的1 nm相差多少？沒(méi)有人知道，所以需要建立納米、皮米的標(biāo)準(zhǔn)。作者曾做過(guò)初步努力，達(dá)到10 nm的純光學(xué)信號(hào)，還需做長(zhǎng)期艱苦的研究。

（4）提高氦氖激光器壽命

在未來(lái)很長(zhǎng)一段時(shí)間，氦氖激光器仍然是激光干涉儀最好的光源，但其漏氣的特點(diǎn)導(dǎo)致其使用壽命有限，替換壽命終結(jié)的氦氖激光器導(dǎo)致光刻機(jī)停機(jī)，會(huì)帶來(lái)巨大經(jīng)濟(jì)損失。因此，延長(zhǎng)氦氖激光器壽命十分有必要。

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