1、直線性測量。

在激光干涉直線度測量中，采用兩組透鏡：測量距離從0.1m到4m，測量距離從1m到30m。至于軸長，距離是指直線度干涉鏡與直線度反射鏡之間的距離，即測軸長。對于長時間來說，距離指的是激光頭與直線度鏡之間的距離。同時，激光干涉儀直線度測量范圍均為±2.5mm。直線性的干涉鏡與反射器是相互配合的。所以，不可與其他直線工具交換要件。每個直線干涉鏡和反光鏡都標出了獨立的序數。

①沿著水平軸直線度測量。

橫向軸線直線度檢測，在激光干涉儀的激光器與直角反射鏡之間安裝直線度干涉鏡。從激光射出的光束經過一條直線度的干涉鏡，這段光束會被分為兩個同頻率的光源，經過一條直線反射鏡，將兩束激光反射匯聚到干涉鏡上，然后再返回。轉動直線度反射鏡，同一光源的兩束光線都會發生干涉。激光將探測出干涉光波，以判斷直線度干涉鏡運動的方向，產生多大的偏差。將偏差值記錄下來，用于設備的安裝、調試。

②垂直軸線上的直線度測量。

豎直軸直線度檢測，引入垂直式轉向鏡，將激光干涉儀水平光束轉化為垂直光束，其檢測原理與橫軸直線度檢測相同。

2、線性測量。

利用激光干涉線性測量技術對機床軸系進行多種精度檢測，包括定位精度、重復定位精度、反差等。用來進行線形測量的鏡組有兩條線性鏡和一條直線光譜儀。

激光器干涉儀要進行線性測量，用兩個緊螺紋的分光鏡連接一個線性鏡。這一結合要件稱為“線性干涉鏡”，可用作激光光束的參考路徑。在激光和線反射鏡之間形成一條直線干涉光通道，激光光束可以射入線性干涉鏡，然后被分成兩個光束。一條光(稱為參考光)射到連接分光鏡的反射鏡，而第二道光(測量光)則通過分光鏡射入第二個反射鏡。二道光束再反射回分光鏡，再匯聚后再回到激光頭，其中一個探測器將監測兩道光束之間的干涉。